ルーツ式ドライ真空ポンプ

業界初

接ガス部フッ素樹脂ライニング施工・ルーツ式ドライ真空ポンプ

ルーツ式ドライ真空ポンプ ＶＰシリーズは、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを施工している製品です。 フッ素樹脂ライニングの厚さは300μm以上で、ハロゲン系ガスや強酸性ガスに対する耐久性があります。
精密仕上げ加工により、厚膜ライニングと極小クリアランスを実現しました。 半導体、製薬、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。

特徴

• 接ガス部フッ素樹脂ライニング施工
• フッ素樹脂ライニング300μm以上
• ハロゲン系ガス、強酸性ガスの吸入に最適

耐薬品性

• フッ化水素
• 塩化水素
• ヨウ化水素etc…

用途

• 半導体
• 製薬、化学
• 高機能材
• 非鉄金属、無機

• 腐食性ガスを用いる装置全般

実績

• ヨウ化水素ガス（セラミックス製ポンプから切替
  →VP4-501×5.5kW　　1.6m3/min×8.0kPa・A
• 塩化系ガス
  →VP4-651×7.5kW　　2.67m3/min×0.33kPa・A